全光谱椭偏仪——
● 桌上型膜厚量测设备
● 安装移动迅速便捷
● 适用于所有非金属膜质
● 多样化的应用选择
● 工业标准数据端口
全光谱椭偏仪——
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规格 |
技术指标 |
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衬底类型 |
透明或半透明衬底 |
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光源 |
氙灯 |
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光源寿命 |
>8760H |
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光谱范围 |
300-1000nm |
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入射角 |
70度（40度-90度 每5度可调） |
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光斑直径 |
100 |
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测量时间（不对焦） |
<2S(单层模型),<约6s（多层模型） |
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膜厚测量范围（单层膜） |
1nm-15μm |
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对焦 |
自动讯号对焦 |
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膜厚测量精度 |
<0.5nm(基于标片) |
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折射率测量精度 |
<0.005(基于标片) |
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厚度重复性精度： |
<0.5A（1 sigma 标准差,10times）（基于标准片） |
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折射率重复性精度： |
<0.0005（1 sigma标准差,10times）（基于标准片） |
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可测试膜层数量 |
≥2层 |
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标片数量 |
2片 |