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超纯水系统通过一系列复杂的工艺流程，将原水转化为超纯水。以下是超纯水系统的主要工作原理和组成部分：预处理。原水首先经过预处理单元，通过过滤、沉淀、气浮等方法去除水中的悬浮物、泥沙、有机物质等杂质。
反渗透。预处理后的水进入反渗透（RO）装置，RO膜允许水分子通过，同时截留离子、重金属、有机物质等，从而得到较高纯度的水。
离子交换。反渗透后的水通过离子交换装置进行处理，离子交换树脂可以去除水中的阳离子和阴离子，如钠离子、钙离子、镁离子、氯离子等，进一步提纯水。
终端处理。为了去除可能存在的细菌、病毒和其他微生物，纯水系统通常会进行消毒处理，如紫外线照射和化学消毒。
储存和送水。处理后的纯水需要储存，并通过管道或其他方式送达使用点。
此外，超纯水系统还可能包括其他技术，如电去离子（EDI），这是一种将电渗析和离子交换相结合的脱盐新工艺，无需酸碱再生，能够连续、