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成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制
2023-11-13 16:54 点击:184
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公司:
成都汉普升科技有限公司
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姓名:
胡(先生)
地区:
四川-成都市
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四川省成都经济技术开发区(龙泉驿)车城西二路288号派瑞国际4栋5楼
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3599459421
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●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。
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