半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列

本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热效率高且可根据需求定制，控制精度可达±0.05℃，适用于温湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列
温控精度（空载时）±0.05℃

 触摸屏操作，人机交互界面

 连锁控制、可靠性高

 定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

 温度波动小

 占地面积小、保护装置

 快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

 运行稳定、准确控温

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列

应用领域

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP （工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。