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◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯) 650(W)×900(D)×1600(H)mm ◆ 合金铝真空仓体(约100升) 450(W)×450(D)×450(H)mm ◆ 电结构 外置电感耦合电 ◆ 等离子发生器(美国MKS) 频率13.56MHZ,功率0-1000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作 ◆ 控制系统 PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制) 日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) 台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器 ◆ 充气系统 美国MKS电子质量流量计(四路气体配制) 美国世伟洛克SWAGELOK气体管路及接口组件，德国双级减压阀 日本SMC及CKD高真空气阀组件