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XP-703D半导体特气检漏仪
XP-703D半导体特气检漏仪特点：
¬ 适合于检测半导体特气的微量泄漏。
¬ 采用声光报警。
XP-703D半导体特气检漏仪规格|
型 号
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XP-703D
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检测对象气体
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半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
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检测原理
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热线型半导体式
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采样方式
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自动吸引式
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可检测浓度
（单位：ppm）
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砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
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检测表示
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蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
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应答速度
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10秒以内
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