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Verifire™ XL 激光干涉仪是一个的工作站,设计用于直径达12英寸(300毫米)的大型平面的简单可靠计量。示例包括前表面反射器,窗口和半导体晶片或晶片卡盘。
这种完全集成的系统易于使用,具有重型倾斜/倾斜平台,可提供可重复的零件放置,无需定制夹具。
Verifire™ XL 激光干涉仪外形紧凑,内置隔振,需要小的生产空间。
振动稳健
Verifire XL系统包括ZYGO的专利QPSI™采集技术,可在存在振动的情况下进行可靠的测量。QPSI可实现真正的轴上表面形状测量,而不会降低典型的生产振动。
准确的计量
Verifire XL系统中的高性能变速箱平面设计用于对重力下垂的小灵敏度,并包括一个全区域校准文件,以实现佳系统精度。
Mx™软件
ZYGO专有的Mx™测量和分析软件提供广泛的操作功能和数据可视化工具,可在易于使用的界面中实现的测量功能。
MX软件现在包括SmartAveraging ®技术,可帮助获得在短的时间量好的测量,以及内置的SPC提供了强大的能力进行生产的情况。
Verifire™ XL 激光干涉仪主要特点:
•12“(300 mm)光圈
•紧凑的占地面积,系统
•易于零件装载和对齐
•简单的设置和简化的操作
•内置预对准传输平面
•集成的隔振和QPSI™技术,可在生产环境中进行可靠的测量