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技术性能：
【测量范围】    轴：Φ1--40mm,      套：≤Φ120mm,      长度：140mm
【示值误差】    量程的1%±0.1μm
【气浮工作台移动精度】  Z：≤0.2μm/100mm,          X:  ≤5μm/150mm
【测量速度】    0.11--0.39mm/S（分三档供选择）
【电源】        220V， 50Hz
【功率】        0.35KW
【气源压力】    ≥0.5Mpa