特性

·出色的稳定性，避免停机

·可选带C 型或W 型密封的压力端口

·抗电磁干扰/ 射频干扰，可防止误停机

·易于吹扫

·符合CE 和RoHS 标准要求

应用

·模块式“Block”气体棒和面板

·高纯度气体输送系统

·半导体过程工具