三维表面轮廓光学系列测量仪采用相干相关技术进行非接触式表面测量。此类仪器能在仅10秒内完成测量数据点超过百万的表面测量，分辨率高达0.01 nm (0.1 Å)。

Talysurf CCI 6000 干涉仪是一种的高分辨率的计量仪器。像素达100万的传感器作为系统的标准配置。该系统可提供测量重复性和的表面细节。

该系统专为需要进行高分辨率测量的（如亚微米级与亚纳米级的z轴分辨率）各种不同类型的表面而设计的。它非常适合应用于许多不同的领域包括：半导体制造业和微机电系统，以及的科学研究与光学业。