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日本SMC空气干燥器，smc气动教程内部结构可分滑阀位置反馈、载荷压力反馈和载荷流量反馈；阀的级数可分单级、双级和多级。在电液伺服阀中，将电信号转变为旋转或直线运动的部件称为力矩马达或力马达。力矩马达浸泡在油液中的称为湿式，不浸泡在油液中的称为乾式。其中以滑阀位置反馈、两级乾式电液伺服阀应用广。电液伺服阀的工作原理是力矩马达在线圈中通入电流后产生扭矩，使弹簧管上的挡板在两喷嘴间移动，移动的距离和方向随电流的大小和方向而变化。例如挡板向右移近喷嘴时，就在主阀芯两端面上产生压力差推动主阀芯左移，使压力油口PS与载荷1口相通，回油口与载荷2口相通。主阀芯左移的同时通过反馈杆对力矩马达产生的力矩和挡板的位移进行负反馈。
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