微纳米力学测试系统，

微纳米力学测试系统，可实现微纳米压痕测试，微纳米划痕测试，微纳米摩擦磨损测试以及形貌分析观测。

该仪器可广泛的应用于材料、薄膜、化工、石油、岩石、微电子、微型传感器、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具的材料研究和开发，还可以应用于工业产品的失效与可靠性的评价、质量控制及检验；也可以按所有的ASTM 和多种ISO 的标准进行测量。同时也可以向各类不同领域中的用户提供检测服务。

技术参数
Maximum Force: 400mN
Digital Force: 0.1uN
Load Ranges: ±4mN; ±40mN; ±400mN
Displacement
Maximum Displacement: 200um
Digital Resolution: 0.02nm
Displacement range: 1um; 10um; 100um; 200um
X and Y stage Z stage
Travel: 75mm×75mm 150mm
Digital Resolution: 1um 2um
Rotary stage
Travel: 360º
Position Resolution: 0.03 arcsec