SC涡旋式真空泵 目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速,对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求,欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式真空泵。 1、SC系列真空泵特点: ·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D; ·高极限真空,zui低可达0.01mbar; ·低噪声; ·低振动; ·允许进气压力大; ·重量轻; ·能耗低; 2、应用范围: ·电子束焊接; ·激光; ·检漏系统; ·加速器/同步加速器; ·表面分析仪; ·STM’s; ·ELMI; ·小型涡轮泵组; ·搬送室;